TY  - BOOK
AU  - Smith,Donald Leonard
TI  - Thin film deposition: principles and practice 
SN  - 9780070585027
U1  - 621.38152 22
PY  - 1995///
CY  - Boston
PB  - McGraw-Hill
KW  - Películas delgadas
KW  - Armarc
KW  - Revestimientos
KW  - Tecnología del vacio
N1  - Incluye referencias bibliográficas e índices; Thin film technology -- Gas kinetics -- Vacuum tecnhology -- Evaporation -- Deposition -- Epitaxy -- Chemical vapor deposition -- Energy beams -- Glow discharge plasmas -- Film analysis
ER  -