Smith, Donald Leonard <br/><br/>
Thin film deposition :  principles and practice / 
Donald L. Smith. 
 - Boston :  McGraw-Hill,  c1995. 
 - xxiii, 616 páginas :  ilustraciones ;  24 cm. 
<br/><br/>Incluye referencias bibliográficas e índices 
<br/><br/>Thin film technology -- Gas kinetics -- Vacuum tecnhology -- Evaporation -- Deposition -- Epitaxy -- Chemical vapor deposition -- Energy beams -- Glow discharge plasmas -- Film analysis. 
<br/><br/><label>ISBN: </label>9780070585027 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Películas delgadas<br/>Revestimientos<br/>Tecnología del vacio
<br/><br/><label>Dewey Class. No.: </label>621.38152  / S642t